华中科技大学“微纳制造与纳米测量技术”创新团队通过验收

 　　5月30日上午，依托华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室的“微纳制造与纳米测量技术”教育部创新团队结题验收工作会议召开。结题验收专家组组长由西安交通大学蒋庄德院士担任，成员有大连理工大学贾振元教授、中南大学朱文辉教授、清华大学路新春教授、武汉理工大学华林教授。华中科技大学科发院副院长高亮教授，机械学院党委书记、创新团队负责人史铁林教授及团队成员等20余人参加了会议。蒋庄德受教育部委托主持验收报告流程。

　　高亮简要介绍了会议议程、与会来宾以及“微纳制造与纳米测量技术”教育部创新团队的基本情况。史铁林从创新团队发展与平台建设、创新能力与社会贡献、科教结合与人才培养、团队文化与管理运行等方面向专家组作了详细汇报。专家组现场考察了该创新团队核心成员的相关实验室，参观了机械工程学院大型仪器共享平台，对该创新团队在前沿技术的基础研究、仪器开发与应用、学科发展与人才培养等方面的工作与成果进行细致核查与质询。

　　专家组通过集中评议，形成了验收综合意见，对创新团队在资助期间取得的优异成绩给予了充分肯定和高度赞赏。专家组认为，“微纳制造与纳米测量技术”教育部创新团队以学科发展前沿和国家重大需求为导向，以基础科学问题和大型科研项目为纽带，开展了原子层沉积技术与应用、跨尺度微纳复合结构制备技术与应用、表面测量技术/仪器与应用、纳米结构测量理论/技术/仪器与应用等研究，取得了具有创新性的累累硕果，为我国在微纳加工、纳米测量等领域提供了理论与技术支撑，填补了国内多项技术空白和打破国外相关技术垄断。

　　专家组一致同意通过结题验收，认为总体优秀，同时建议教育部给予滚动支持，建议学校加大投入继续支持。高亮、史铁林表示，将按照专家组的建议和意见不断改进和完善，为将该创新团队打造成一支具有国际知名度的创新群体而不懈努力。

　　据悉，该团队在建设期间，取得了一系列科研成果。团队面向微纳制造与纳米测量技术领域，在原子层沉积、跨尺度微纳复合结构制备、表面测量、纳米结构测量等方面取得了突破性进展。他们提出了选择性原子层沉积方法，并开发了两类高效薄膜生长装备;提出了多种规模化、跨尺度、低成本微纳结构制造工艺;开发了“高精度宽光谱穆勒矩阵椭偏仪”等系列测量仪器，并成功实现了产业化，为国内外20余家研究机构提供了设备和测试服务。团队人才培养和引进成效显著，现有国家杰青1名、国家优青1名、科技部中青年科技创新领军人才2名、青年千人4名，获人才和团队奖6项。团队先后培养博士后、博士、硕士108名，承担研究生课程9门、本科生课程18门;承担国家重大基础研究项目、国家重大仪器专项、国家自然科学基金等科研项目30余项，经费约1.1亿元。团队同时还发表SCI论文167篇，出版专著5部;授权发明专利69项，其中美国专利3项，获国际发明奖3项;举办学术论坛11次，受邀做特邀报告25次。